PECVD设备国产化现状及趋势发表评论(0)编辑词条

PECVD是利用高频电源辉光放电产生等离子体进行化学气相沉积的过程。其特点是电子密度高、电子平均能量大，富含大量化学气相沉积的活性粒子和自由基，并且沉积温度低。在采用SiH4和NH3作为源气体沉积SiNx薄膜的过程中，由于大量氢原子的存在，使所生成的薄膜除了注册香港公司具有减反射性能外，兼具有良好的表面和体钝化性能，这是因为在离子的轰击下，氢原子更容易扩散进入薄膜体内，从而提高膜的体钝化效果。不仅如此，PECVD等离子体中由于含有高密度的离子，这些具有一定动能的离子对沉积的减反射钝化膜进行轰击，还会提高膜的质密性和应力。故PECVD设备是晶体硅太阳能电池生产线制备减反射钝化膜的主要设备。与此同时，PECVD设备也是整条太阳能电池生产线的核心设备之一，市场调查资料表明，应用于晶体硅太阳电池生产线的PECVD设备价格已经占到了整条线设备价格的三分之一左右，是所有设备中比重最大的一部分。
目前市场上主流的PECVD设备技术按照反应器结构和等离子体发生源的不同，分为管式和平板式PECVD，直接式PECVD和间接式PECVD。下面将分别就这几种主流的PECVD设备技术进行比较。近几年来，国产晶体硅太阳能设备整体水平有了明显的提高，特别是在中低端设备领域，有些甚至已经达到或接近国际先进水平。通过和一流企业合作并引进先进的工艺技术，历经数次技术升级，国产太阳能电池及组件生产线关键设备已相继在国内生产线上代替进口设备，并得到了广泛应用。特别是电池片制造关键设备之一货架——生产型管式PECVD设备的成功研制，使我国正式具备了除全自动丝网印刷机外的太阳能电池制造设备的整线供应能力。在这方面，中电科技集团第48研究所和北京七星华创电子股份有限公司取得了较好的成绩，并占据了一定的市场份额。国产PECVD设备的成功抢滩，打破了该领域由国外进口设备一手垄断的局面。其成功不仅使国内太阳能电池制造企业获得了低成本建线的解决方案，也极大地鼓舞了国产设备厂商与国外供应商形成分庭抗礼之势的信心。目前国内厂商可提供太阳能电池大生产线所需10种设备中的8种，其中6种（扩散炉、等离子体刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉、层压机（组件生产用））已在国内生产线占据主导地位，2种（管式PECVD、快速烧结炉）和进口设备并存，而全自动丝网印刷机、自动分拣机和平板式PECVD等3种设备在近期内尚依赖进口。
从当前的市场状况可以看到，虽然在管式PECVD设备研制代孕上国产设备成绩喜人，但在该设备的高端领域——平板PECVD设备开发方面，本土产品仍处于相对滞后的状态。与管式PECVD设备相比，平板式PECVD具备产能大、装卸片容易，易于自动化集成等优点，但到目前为止，国产设备市场上仍未真正出现相关的成熟产品。在确保中低端设备持续向前发展的势头下，开发具有更高自动化水平和单机生产效率的高端设备，提高整线生产效率，降低生产成本，是太阳能电池制造设备发展的必然方向。大型平板PECVD设备的国产化，正令国内客户翘首以待。令人欣慰的是，国产平板PECVD设备的开发也确实正在紧锣密鼓的进行当中。由北京北方微电子公司进行的大型平板PECVD设备的自主研发，目前已经接近尾声，并预计于2009年第二季度推向市场。pecvd依据该公司在半导体设备行业雄厚的研发实力，及一切从用户出发的研发理念，其即将推出的大型平板PECVD设备将十分有望成为国产晶体硅太阳能电池设备的领跑者。业内客户所追求的更低成本、更高收益的解决方案亦是指日可待。
成本的降低是太阳能电池能否达到电网平价的关键因素，对于电池片生产商而言，其意义更是不言而喻。除了降低生产线投资成本之外，原材料硅片在不断变大、变薄，新的电池工艺也层出不穷。这些发展趋势使设备供应商面临着多重考验。高性能、高产量、高成品率、低维护成本以及环保节能等是PECVD设备技术能满足市场并高速发展的重要条件。随着晶体硅太阳能电池市场需求的不断攀升，空调维修作为其技术支撑的装备行业将会获得越来越多的发展空间。有理由相信，国产设备供应商通过不断提升自身的技术实力和服务意识，一定能够早日实现与国外设备厂商的同台竞技，并利用自身的价格、地域及服务优势，在太阳能电池乃至更广阔的半导体设备行业，牢牢的站稳脚跟。